晶盛机电新获得实用新型专利授权：“移载设备及晶圆测量系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“移载设备及晶圆测量系统”，专利申请号为CN202321553168.6，授权日为2023年11月14日。

专利摘要：本实用新型涉及一种移载设备及晶圆测量系统，移载设备包括视觉装置及移载装置，其中：视觉装置包括用于拍摄形成图像信息的摄像机，摄像机拍摄的图像信息能够用于确定陶瓷盘的圆心；移载装置包括移动组件及设置于移动组件的旋转组件，移动组件用于带动旋转组件移动至第一预设位置，在第一预设位置，旋转组件的回转轴线经过圆心，所以旋转组件用于与测量装置连接，并带动测量装置转动至与每片晶圆对应的位置。该移载设备能够通过视觉装置及控制装置实现对测量装置的自动定位，不需要人工对位或调整，从而该移载设备能够提高测量装置对晶圆的测量精度及测量效率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权150个，较去年同期增加了163.16%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6亿元，同比增118.68%。

数据来源：企查查

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