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赛微电子(300456)答投资者问

据说钙钛矿技术取得最新突破，请问贵公司MEMS工艺是否可以制作MEMS微型纳米电机？

您好，公司的MEMS产品线宽为微米级；严格意义上的“纳米电机”（所有关键特征尺寸均在100纳米以下）主要使用NEMS技术制造，而非标准的MEMS工艺。我司掌握的MEMS工艺可以根据客户需求支持制造部分纳米级特征的微电机。谢谢关注！

来源：互动易     答复时间：2025/6/28 22:51:29

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