芯碁微装(688630)答投资者问
你确定你们已经攻克了90nm技术，首台光刻设备交付给哪个客户？是不是真实的？上海微电子的SSX600系列光刻机也才90纳米。
尊敬的投资者您好，2023年公司已完成了90nm技术节点制版应用的研发，目前首台设备已发至客户端验证，感谢关注！
来源：e互动 答复时间：2023/11/2 16:54:43
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