CAPEX和OPEX业务并举，业绩持续快速增长 公司是国内领先的工艺介质供应系统商，专业从事电子工艺设备、生物制药设备、电子气体和MRO服务，并拓展半导体零部件Gas Box业务，客户群体覆盖中芯国际、长江存储、合肥长鑫、华虹宏力、通威、隆基、晶澳、恒瑞医药等多领域头部客户，业绩实现了快速增长。1）收入端：受益半导体&光伏行业大规模扩产需求，2021年公司营收达到18.37亿元，2016-2021年CAGR为26%，稳健增长。2）利润端：2021年公司归母净利润为1.68亿元，2016-2021年CAGR达到52%，明显高于同期收入端增速，反映出盈利能力明显提升。2017-2021年公司扣非销售净利率分别为3.77%、5.53%、6.40%、6.71%、7.48%，真实盈利水平持续提升。
工艺介质系统：下游投资拉动行业需求，仍有较大成长空间 受益于集成电路、光伏等行业旺盛的扩产需求，工艺介质系统需求有望维持高位。若仅考虑半导体行业，我们预估2021年中国大陆工艺介质系统市场规模为144亿元，2023年有望达到206亿元。若再考虑到光伏等行业需求，我们判断2021年工艺介质系统市场规模将突破200亿元。在本土企业中，公司和至纯科技较为领先，2021年公司电子工艺设备实现收入12.83亿元，至纯科技高纯工艺系统收入10.78亿元，我们判断2021年二者在本土市占率均不足10%，行业集中度较低，成长空间依旧较大。
半导体设备零部件：Gas Box市场需求旺盛，公司有望快速放量 气柜模组（Gas Box）为干法泛半导体设备内部的模组化气体供应系统。若仅考虑半导体设备需求，我们预估2021年全球和中国大陆Gas Box市场规模分别为163和47亿元，2023年有望达到192和67亿元。若再考虑光伏、面板显示等行业需求，我们判断2021年中国大陆Gas Box市场规模将超过100亿元。Gas Box仍高度依赖进口，在全球供应链紧张、贸易摩擦的背景下，国产半导体设备商对零部件国产替代诉求愈发强烈。公司深耕气体输送系统多年，设备外输送系统与设备内部气体系统底层技术互通，具备切入Gas Box领域的先发优势。公司正在积极对接半导体&光伏设备客户，部分客户已批量采购，有望进入快速放量阶段。
OPEX：战略发展重点，材料&服务业务打开成长空间 展望未来，考虑到泛半导体行业的周期性，在未来下游扩产增速放缓背景下，与存量产线直接相关的OPEX业务的战略重要性将愈发凸显，公司正在材料、服务端积极布局。1）电子气体：分为电子特气和电子大宗气两大类，我们预计2022年我国电子气体市场规模将达308亿元。公司在电子特气领域已形成较强市场竞争力，是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一。2022年公司募投项目重点布局电子大宗气，实现产品和区域覆盖度的拓展，进一步打开成长空间。2）MRO：即维护、维修、运营，主要针对已向客户交付使用的电子工艺设备、生物制药设备提供后续配套服务。公司为本土少数具备MRO一站式服务的综合能力的企业，2021年MRO业务收入占比仍仅为10.21%，后续成长空间较大。
盈利预测与投资评级：受益于半导体&光伏行业大规模扩产需求，我们预计2022-2024年公司归母净利润分别为2.21、4.00和5.73亿元，当前市值对应动态PE为36、20和14倍。基于公司较为突出的成长性，首次覆盖，给予“增持”评级。
风险提示：下游资本开支下滑、市场竞争加剧、新业务开展不及预期等。
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