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容大感光:KrF光刻机正在调试中

来源:证星互动追踪 2025-09-30 20:51:11
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证券之星消息,容大感光(300576)09月29日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:请问董秘,公司KrF(248nm)光刻胶研发进度怎么样,公司是否有生产KrF(248nm)光刻胶的能力?谢谢。

容大感光回复:您好,公司已经购买KrF光刻机及配套的涂胶显影机、扫描电镜等设备,目前进行调试中,这些设备的购置,能够提升公司KrF光刻胶的产品开发能力及产品质量检测能力,加速公司相关产品的开发、验证及量产。感谢您的关注。

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