股市必读：微导纳米（688147）9月5日披露最新机构调研信息

截至2025年9月5日收盘，微导纳米(688147)报收于38.41元，上涨2.43%，换手率8.65%，成交量8.75万手，成交额3.33亿元。

当日关注点

• 来自交易信息汇总：9月5日主力资金净流出1229.56万元，占总成交额3.69%。
• 来自机构调研要点：2025年上半年半导体设备收入同比增长27.17%，占主营业务收入比重提升至18.45%。
• 来自机构调研要点：公司推出iTomic Spatix系列空间型ALD设备，单批次可处理12片晶圆，适用于高产能存储芯片制造。

交易信息汇总

资金流向9月5日主力资金净流出1229.56万元，占总成交额3.69%；游资资金净流入1033.94万元，占总成交额3.11%；散户资金净流入195.63万元，占总成交额0.59%。

机构调研要点

2025年上半年，公司实现营业收入104,994.82万元，同比增长33.42%；归属于母公司所有者的净利润19,236.06万元，同比增长348.95%；扣除非经常性损益的净利润13,636.47万元，同比增长1,090.38%。半导体设备收入达19,353.64万元，同比增长27.17%，占主营业务收入比重提升至18.45%。截至2025年6月30日，半导体领域在手订单达23.28亿元，较年初增长54.72%。

公司iTomic HiK系列、iTomic MeT系列LD设备和iTronix MTP系列CVD设备持续获得量产批量订单；iTomic PE系列LD设备取得多家重要客户订单；iTronix PE系列CVD设备获得先进封装领域重要客户订单；iTronix LP系列CVD设备实现关键工艺突破并获重复订单。

LD设备已覆盖高介电常数材料、金属化合物薄膜等主流工艺，实现产业化应用；CVD设备在硬掩膜等关键工艺实现突破，进入存储芯片量产线。

公司推出适用于先进封装的超低温薄膜沉积工艺方案，可在50~200°C温度区间实现高质量薄膜沉积。iTronix PE系列CVD设备已在先进封装领域取得重要客户订单，验证进展顺利。

2025年上半年，公司推出iTomic Spatix系列空间型LD设备，单批次可处理12片晶圆，具备高产能、低颗粒、节省前驱体等优势，适用于High-k、金属、多元掺杂薄膜及3D NAND/DRAM/新型存储MIM结构。

公司在逻辑、存储、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域获得多家国内知名厂商订单，并与主流厂商及验证平台签署保密协议并开展技术验证。

截至2025年6月30日，公司研发人员为349人，占员工总数28.05%；研发投入中超过60%集中于半导体领域，重点覆盖逻辑、存储、先进封装、新型显示、化合物半导体等方向。

公司可转债募投项目“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”和“研发实验室扩建项目”正在推进，旨在提升生产能力、研发水平和成果转化效率，缓解产能瓶颈，满足订单增长需求。

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