赛腾股份获得发明专利授权：“晶圆检测装置及检测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示赛腾股份（603283）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆检测装置及检测方法”，专利申请号为CN202510817412.2，授权日为2025年8月22日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆检测装置及检测方法，属于晶圆检测领域，其包括：旋转台，适于承载吸附晶圆，并带动晶圆旋转；定位机构，适于在晶圆旋转过程中检测晶圆的偏移量；调整机构，适于将晶圆顶升离所述旋转台，并响应于所述定位机构所检测到的偏移量，带动顶升后的晶圆沿第一水平方向和垂直于第一水平方向的第二水平方向微调晶圆；第一检测机构，用于检测晶圆的边缘；第一支撑机构，位于晶圆下方，且与所述第一检测机构检测区域内的部分晶圆相对应，所述第一支撑机构适于向上靠近并支撑晶圆的边缘；晶圆适于在所述旋转台的带动下旋转，以使其周缘的各部分均流经所述第一检测机构的检测区域。本发明采用上述结构，能够精准高效地检测晶圆。

今年以来赛腾股份新获得专利授权28个，较去年同期减少了54.1%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.08亿元，同比增5.07%。

通过天眼查大数据分析，苏州赛腾精密电子股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目7次；财产线索方面有商标信息75条，专利信息798条，著作权信息52条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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