证券之星消息,冰轮环境(000811)08月19日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问:董秘您好,氦气发生冷却装置,用于光刻机的激光光源冷却系统,确保极紫外(EUV)或深紫外(DUV)光源的稳定运行。单台光刻机需1-2套,价值量超1300万元,技术壁垒极高。公司是否掌握相关技术?公司技术设备能否用于芯片制造领域?
冰轮环境回复:您好,公司暂不涉及光刻机的激光光源冷却系统。在半导体制造领域,公司精于电子厂房温湿控洁净精密空间建设,服务过中芯绍兴、富士康、天科合达、Wafer等。感谢关注
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