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微导纳米获得发明专利授权：“电极馈入装置和化学沉积设备”

来源：证券之星企业动态 2025-04-02 02:30:01

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“电极馈入装置和化学沉积设备”，专利申请号为CN202211401702.1，授权日为2025年4月1日。

专利摘要：本申请公开了电极馈入装置和化学沉积设备，电极馈入装置包括电极导杆、电极块和载片舟。电极块设置于电极导杆上。载片舟具有舟脚，舟脚与电极块抵接，以将二者电性连接。其中，电极块和舟脚的至少其中一者设置有阻挡部，用于阻挡工艺气体进入舟脚与电极块之间的缝隙。通过上述方式，本申请能够增强电场的稳定性。

今年以来微导纳米新获得专利授权23个，较去年同期增加了21.05%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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