微导纳米获得实用新型专利授权：“一种进气管”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种进气管”，专利申请号为CN202421114907.6，授权日为2024年12月27日。

专利摘要：本实用新型提供一种进气管，包括进气管本体，进气管本体包括至少三个管体，各管体沿径向依次套装，相邻两个管体之间形成环形空间，各管体的对应端部连接于一体实现环形空间的封闭，每一个环形空间内部均填充有隔热材料。本实用新型在进气管的管壁内部形成至少两层隔热层，起到隔热作用，保证工艺气体在进气管内部不会因快速升温而被分解和挥发，一方面，减少工艺气体的固态分解物沉积在进气管的内壁，减少甚至解决进气管堵塞问题，延长进气管使用寿命；另一方面，工艺气体只有进入工艺管后才会因高温分解，参与薄膜的制备工艺过程，没有在进气管中被消耗，提升晶片的工艺质量。

今年以来微导纳米新获得专利授权1个，与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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