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长电科技获得发明专利授权:“器件镀膜方法、镀膜轨道以及器件镀膜机构”

来源:证券之星企业动态 2024-12-28 03:07:34
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长电科技(600584)新获得一项发明专利授权,专利名为“器件镀膜方法、镀膜轨道以及器件镀膜机构”,专利申请号为CN202211227418.7,授权日为2024年12月27日。

专利摘要:本申请公开了器件镀膜方法、镀膜轨道以及器件镀膜机构,其中,器件镀膜方法包括:提供载具,将待镀膜器件设置在载具上;提供镀膜轨道和托盘,镀膜轨道具有相互对接的第一段坡道和第二段坡道,第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端,第一段坡道的高端和第二段坡道的高端对接;将载具安装在托盘上,采用物理气相沉积方式进行镀膜,镀膜轨道的第一段坡道和第二段坡道的对接处位于镀膜源下方,镀膜时,托盘带动载具往复移动,在待镀膜器件的正面和侧面形成镀膜层。本申请载具在第一段坡道和第二段坡道往复移动时,器件侧面由竖直变为与竖直成一定角度,接受自上而下沉积的镀膜原子的概率增加,能够有效降低器件侧面和正面之间的镀膜厚度差。

今年以来长电科技新获得专利授权24个,较去年同期减少了72.41%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了8.19亿元,同比增22.38%。

数据来源:天眼查APP

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