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凯德石英获得实用新型专利授权:“一种外延工艺用流道盖板”

来源:证券之星企业动态 2024-11-16 03:43:23
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示凯德石英(835179)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种外延工艺用流道盖板”,专利申请号为CN202420625732.9,授权日为2024年11月12日。

专利摘要:本申请涉及气相成膜技术的领域,提供一种外延工艺用流道盖板,其包括成膜板和加强板,所述加强板平行于所述成膜板设置,且所述加强板位于所述成膜板的上方,所述成膜板的左右两侧均连接有支撑侧板;所述支撑侧板的一侧用于与对象结构抵接,另一侧与所述加强板连接。本申请具有在确保盖板本身不至于承受过大压力的同时,兼顾单晶薄膜的成膜效率的效果。

今年以来凯德石英新获得专利授权6个,较去年同期减少了40%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了982.1万元,同比增13.39%。

数据来源:天眼查APP

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