龙腾光电获得实用新型专利授权：“光刻装置和光刻系统”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙腾光电（688055）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“光刻装置和光刻系统”，专利申请号为CN202420678596.X，授权日为2024年11月12日。

专利摘要：本实用新型涉及显示面板制程技术领域，其实施例公开了一种光刻装置和光刻系统。该光刻装置包括：壳体、热板、加热装置和至少两个位移驱动装置，所述热板和所述加热装置设置于所述壳体内，且所述热板和所述加热装置之间存在间隔；所述加热装置能够对所述热板的各区域进行加热；所述至少两个位移驱动装置设置于所述加热装置的底部；至少两个所述位移驱动装置能够调整所述加热装置的倾斜角度，以使所述热板的不同位置与所述加热装置的间距不同。本实用新型实施例公开的光刻装置和光刻系统能够降低线宽波动范围，满足高性能产品生产要求，提升竞争力。

今年以来龙腾光电新获得专利授权175个，较去年同期减少了23.25%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.15亿元，同比增4.41%。