长安汽车获得发明专利授权：“集成电路缺陷检测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长安汽车（000625）新获得一项发明专利授权，专利名为“集成电路缺陷检测方法”，专利申请号为CN202210512379.9，授权日为2024年9月17日。

专利摘要：本发明公开了一种集成电路缺陷检测方法，包括：S1：将不同层的集成电路芯片设计网表进行检测区域的划分；S2：将不同检测区域添加标记；S3：在晶圆的制造过程中，将集成电路芯片设计网表上的标记通过制造工艺转移到晶圆上，对不同检测区域编制对应的自动扫描程序；S4：自动光学检测设备根据检测区域的标记调用该检测区域所对应的自动扫描程序来进行扫描检测，并在晶圆缺陷检测完毕后，将缺陷检测结果上传至缺陷检测系统，针对不同区域缺陷选择性取样;S5：通过缺陷检测系统将取样位置传送至扫描电子显微镜或电子显微镜进行拍照，并将拍摄的图像结果反馈至缺陷检测系统进行综合分析。本发明提高了集成电路缺陷检测的效率和灵敏度。

今年以来长安汽车新获得专利授权1435个，较去年同期增加了16.57%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了29.12亿元，同比减1.77%。

数据来源：天眼查APP

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