证券之星消息,根据天眼查APP数据显示海目星(688559)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“硅片输送系统以及硅片加工设备”,专利申请号为CN202323190309.5,授权日为2024年9月17日。
专利摘要:本实用新型公开了一种硅片输送系统以及硅片加工设备,硅片输送系统,包括:转台装置,用于将硅片从进料位依次转动搬运至第一加工位、第二加工位和出料位;第一探针装置,包括受控能够上下移动的第一探针模组,第一探针模组位于第一加工位的上方,第一探针模组用于与位于第一加工位的硅片的第一加工区域相对、以避开位于第一加工位的硅片的第二加工区域;第二探针装置,包括受控能够上下移动的第二探针模组,第二探针模组位于第二加工位的上方,第二探针模组用于与位于第二加工位的硅片的第二加工区域相对、以避开位于第二加工位的硅片的第一加工区域。
今年以来海目星新获得专利授权270个,较去年同期增加了39.18%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.49亿元,同比增3.61%。
数据来源:天眼查APP
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