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甬矽电子获得实用新型专利授权:“MEMS封装结构”

来源:证券之星企业动态 2024-07-06 03:08:13
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证券之星消息,根据企查查数据显示甬矽电子(688362)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“MEMS封装结构”,专利申请号为CN202323309397.6,授权日为2024年7月5日。

专利摘要:本实用新型提供一种MEMS封装结构,涉及半导体封装结构领域,该MEMS封装结构包括基板、控制芯片、硅麦芯片、金属盖和密封盖,基板设置有进音孔;控制芯片贴设在基板上,并与进音孔间隔设置;硅麦芯片贴设在基板上,并罩设在进音孔上,且硅麦芯片底侧形成有与进音孔连通的音腔;金属盖设置在基板上;密封盖设置在基板上,且密封盖与基板之间形成拓展腔,拓展腔与音腔连通。相较于现有技术,本实用新型通过在基板上额外设置密封盖,并且形成与音腔连通的拓展腔,能够大幅提升声压空间,形成侧音室,提升其侧壁声腔容积,从而提升其灵敏度和信噪比。

今年以来甬矽电子新获得专利授权32个,较去年同期增加了3.23%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了1.45亿元,同比增19.23%。

数据来源:企查查

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