海信视像获得实用新型专利授权：“半导体晶圆处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示海信视像（600060）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“半导体晶圆处理装置”，专利申请号为CN202322542383.2，授权日为2024年6月4日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种半导体晶圆处理装置，涉及半导体技术领域。该半导体晶圆处理装置包括：吸附机构，吸附机构用于吸附半导体晶圆，且半导体晶圆的第一表面与吸附机构的吸附面相贴合，其中，第一表面为与半导体晶圆的周向侧表面邻接的一个表面；位姿调节机构，位姿调节机构与吸附机构固定连接，位姿调节机构用于调节吸附机构的位置及姿态，以将半导体晶圆移动至涂敷位置，并带动周向侧表面旋转；涂敷机构，涂敷机构的涂敷剂出口与周向侧表面正对设置，涂敷机构用于向周向侧表面涂敷形成防止刻蚀剂腐蚀的保护层。本申请实施例能够解决半导体晶圆在化学腐蚀的过程中出现侧腐蚀的问题。

今年以来海信视像新获得专利授权165个，较去年同期减少了67.65%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了23.79亿元，同比增14.39%。

数据来源：企查查

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