鼎泰高科获得发明专利授权：“一种可变磁轨式装置、真空镀膜设备和真空镀膜方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示鼎泰高科（301377）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种可变磁轨式装置、真空镀膜设备和真空镀膜方法”，专利申请号为CN202111433035.0，授权日为2024年6月4日。

专利摘要：本发明公开了一种可变磁轨式装置、真空镀膜设备和真空镀膜方法，属于真空镀膜技术领域。可变磁轨式装置包括靶材、电磁线圈组和电源模块，靶材包括待烧蚀面；电磁线圈组设置于所述靶材远离所述待烧蚀面的一侧，通过调节电磁线圈的电流参数，使电磁线圈组相互耦合产生磁拱来回移动的磁场，从而控制弧斑在待烧蚀面上来回移动，产生扫描的移动效果。增加弧斑的烧蚀面积，提高靶材利用率，避免热量集中，减少烧蚀过程中产生的液滴，提高涂层性能。在磁拱移动的过程中，磁场强度可以做到几乎不变，确保了溅镀的工艺参数的稳定性，有助于提高工艺稳定性；另外，磁场发生装置结构简单耐用，避免了复杂的机械运动结构长期使用时容易出现损坏的问题。

今年以来鼎泰高科新获得专利授权7个，较去年同期减少了30%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了9772.24万元，同比增22.43%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。