中微公司获得发明专利授权：“半导体零部件、半导体处理装置及形成耐腐蚀涂层的方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体零部件、半导体处理装置及形成耐腐蚀涂层的方法”，专利申请号为CN202011588028.3，授权日为2024年5月14日。

专利摘要：一种半导体零部件、半导体处理装置及耐腐蚀涂层的形成方法，其中，半导体零部件包括：零部件本体；耐腐蚀涂层，位于所述零部件本体的表面，其为稀土金属掺杂类金刚石涂层。所述半导体零部件的耐腐蚀性能较好。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了4.76%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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