证券之星消息,根据企查查数据显示高测股份(688556)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“载料夹持装置、旋转载料台及晶棒加工系统”,专利申请号为CN202322308621.3,授权日为2024年4月16日。
专利摘要:本实用新型公开了一种载料夹持装置、旋转载料台及晶棒加工系统,包括垫板和压板,垫板和压板沿竖直方向上下对置设置,以夹持在晶棒轴向方向的两端面,使晶棒呈竖直状态,垫板和/或压板的有效夹持面小于晶棒端面,以预留从晶棒轴向端面取放晶棒时的承接空间。本实用新型提供的载料夹持装置既能满足从晶棒侧向取放晶棒,又能满足从晶棒轴向端面取放晶棒,以适应不同晶棒夹持装置的夹持需求。
今年以来高测股份新获得专利授权86个,较去年同期增加了56.36%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.89亿元,同比增72.61%。
数据来源:企查查
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