证券之星消息,根据企查查数据显示高测股份(688556)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶棒夹爪组件、晶棒转运装置及晶棒加工系统”,专利申请号为CN202322303454.3,授权日为2024年4月12日。
专利摘要:本实用新型公开了一种晶棒夹爪组件、晶棒转运装置及晶棒加工系统,包括回转框架、上夹爪模块和下夹爪模块,上夹爪模块和下夹爪模块与回转框架滑动连接;回转框架上设置有升降驱动组件,上夹爪模块与升降驱动组件固定连接,以在升降驱动组件的驱动下往复运动,下夹爪模块与升降驱动组件离合连接,下夹爪模块与升降驱动组件固定连接时,下夹爪模块可在升降驱动组件的驱动下往复运动,下夹爪模块与升降驱动组件脱离连接时,下夹爪模块可维持在回转框架上的预设位置。本实用新型的晶棒夹爪组件通过下夹爪模块与升降驱动组件离合连接分别对两个夹爪模块进行位置调节,结构简单,有利于设备的稳定运行。
今年以来高测股份新获得专利授权78个,较去年同期增加了59.18%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.89亿元,同比增72.61%。
数据来源:企查查
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