高测股份获得实用新型专利授权：“晶棒转运装置及晶棒加工系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示高测股份（688556）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶棒转运装置及晶棒加工系统”，专利申请号为CN202322303513.7，授权日为2024年4月12日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶棒转运装置及晶棒加工系统，包括回转夹持单元和转运平移单元，回转夹持单元包括回转框架，回转框架的一个侧面上设置有第一晶棒夹爪组件，回转框架内部固定设置有第一升降驱动组件，以驱动组件驱动第一晶棒夹爪组件在回转框架上往复运动；回转框架的另一侧面上设置有第二晶棒夹爪组件，回转框架内部固定设置有第二升降驱动组件，以驱动第二晶棒夹爪组件在回转框架上往复运动；回转框架内部固定设置有回转驱动单元，回转驱动单元与转运平移单元转动连接，可驱动回转框架在转运平移单元上旋转，以使第一晶棒夹爪组件或第二晶棒夹爪组件处于晶棒取放工位上。本实用新型减小了上下料时间节拍，且结构紧凑、体积小，运行稳定。

今年以来高测股份新获得专利授权78个，较去年同期增加了59.18%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了3.89亿元，同比增72.61%。

数据来源：企查查

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