证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“检测光刻胶适用性的方法及装置”,专利申请号为CN202410004324.6,授权日为2024年4月5日。
专利摘要:本申请涉及一种检测光刻胶适用性的方法及装置,包括:获取正片上的光刻胶的目标离子注入条件;其中,所述光刻胶在所述目标离子注入条件下存在缺陷;获取第一控片上的所述光刻胶在所述目标离子注入条件下的极限温度;获取第二控片上的所述光刻胶在实际生产离子注入条件下的第一温度信息;其中,所述第一控片和所述第二控片的品质相同;根据所述第一温度信息和所述极限温度确定所述光刻胶的适用性。本方法通过检测控片上光刻胶的温度,并和极限温度作比较,从而确定光刻胶的适用性,节省了正片,降低了测试成本。
今年以来晶合集成新获得专利授权77个,较去年同期增加了102.63%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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