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隆基绿能获得实用新型专利授权:“一种载板及镀膜设备”

来源:证券之星企业动态 2024-03-27 02:29:19
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证券之星消息,根据企查查数据显示隆基绿能(601012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种载板及镀膜设备”,专利申请号为CN202322112668.2,授权日为2024年3月12日。

专利摘要:本实用新型涉及镀覆技术领域,特别涉及一种载板及镀膜设备。该载板包括底板、上板和调节构件;底板设有第一安装部和第一端面;上板设于第一安装部处;上板包括第二安装部,第二安装部用于设置待镀膜件;调节构件连接于底板和上板;载板在工作的情况下,第一端面和第二安装部均面向工艺气体进气口;调节构件调节底板和上板的相对位置,以改变第一端面和第二安装部的相对位置。载板中调节构件可以调节底板和上板的相对位置,以改变第一端面和第二安装部的相对位置,使得第二安装部内的待镀膜件到上级底板或者靶材的间距改变,从而实现调节待镀膜件上镀膜厚度,使得任一片待镀膜件以及同一载板上的所有待镀膜件的镀膜厚度相一致。

今年以来隆基绿能新获得专利授权51个,较去年同期减少了43.33%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了9.76亿元,同比增111.09%。

数据来源:企查查

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