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中天科技获得发明专利授权:“石英玻璃沉积装置以及石英玻璃的制备方法”

来源:证券之星企业动态 2024-03-23 02:40:59
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证券之星消息,根据企查查数据显示中天科技(600522)新获得一项发明专利授权,专利名为“石英玻璃沉积装置以及石英玻璃的制备方法”,专利申请号为CN202211085703.X,授权日为2024年3月22日。

专利摘要:本发明提供一种石英玻璃沉积装置以及石英玻璃的制备方法,包括:由所述平面炉顶、上炉体、下炉体依次连接形成底端开口的炉体、沉积单元以及喷灯;上炉体具有向远离炉体内部的方向凸出的圆弧内壁,下炉体的内壁沿着深度方向线性延伸;炉体的侧壁具有靠近所述平面炉顶的排气孔;沉积单元包括位于炉体内部的支撑杆和固定连接于支撑杆顶部的沉积基底,支撑杆沿自身轴线旋转;喷灯,固定于平面炉顶处;所述喷灯的喷射方向朝向所述沉积基底,且喷射方向与所述炉体的轴线具有夹角θ,30°≤θ≤60°,且喷灯远离所述炉体内部的一端与所述轴线的垂直距离为100mm~130mm,采用该装置能够制得结构均匀性好的石英玻璃砣。

今年以来中天科技新获得专利授权41个,较去年同期减少了24.07%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了7.87亿元,同比增0.52%。

数据来源:企查查

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