证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“接地环组件、上电极组件及边缘刻蚀设备”,专利申请号为CN202321355536.6,授权日为2024年3月12日。
专利摘要:本实用新型提供一种接地环组件、上电极组件及边缘刻蚀设备。所述接地环组件包括接地环和匀气环,其中,所述匀气环与所述接地环同心设置,所述匀气环构成供应工艺气体的气体通道的至少一部分,并且所述匀气环采用多孔材料制成。本实用新型能够使工艺气体在匀气环的孔隙中均匀扩散,从而使流入到反应空间的工艺气体均匀扩散到晶圆边缘,使晶圆边缘刻蚀均匀。
今年以来中微公司新获得专利授权18个,较去年同期减少了35.71%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元,同比减3.77%。
数据来源:企查查
以上内容由证券之星根据公开信息整理,由算法生成,与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息(包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表)全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等,如存在问题请联系我们。本文为数据整理,不对您构成任何投资建议,投资有风险,请谨慎决策。