证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种等离子体处理装置”,专利申请号为CN202321957337.2,授权日为2024年3月12日。
专利摘要:本实用新型公开了一种等离子体处理装置,其包含:真空反应腔,其内设有可升降的下电极组件,真空反应腔底壁设置有射频屏蔽基板;射频导杆,其顶端与下电极组件下方电连接;可伸缩密封组件,其沿射频导杆的轴向上下伸缩,且位于下电极组件下方,环绕射频导杆的周向设置,将真空反应腔分为真空侧和大气侧;若干根绝缘传动杆,设置于真空反应腔的大气侧,用于上下移动所述下电极组件,其包括:绝缘杆本体,其两端分别连接设置有金属制成的连接端头;所述绝缘杆本体顶端的连接端头与下电极组件连接,底端的连接端头穿过射频屏蔽基板连接驱动组件。其优点是:绝缘传动杆具备高抗拉强度、高螺纹硬度的特性,且实现了射频绝缘,有效防止射频泄露。
今年以来中微公司新获得专利授权18个,较去年同期减少了35.71%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元,同比减3.77%。
数据来源:企查查
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