中微公司获得发明专利授权：“真空处理系统、基台的驱动装置及其控制方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“真空处理系统、基台的驱动装置及其控制方法”，专利申请号为CN201911379900.0，授权日为2024年3月8日。

专利摘要：本发明公开了一种真空处理系统、基台的驱动装置及其控制方法，该基台的驱动装置包括用于承载所述基台的支撑部件和至少两个驱动单元，所述驱动单元的驱动端与所述支撑部件连接，各所述驱动单元的驱动端与所述支撑部件的连接位置相对所述支撑部件的竖向中心线对称设置，以驱动所述支撑部件沿竖向升降。该驱动装置的结构设计能够提高晶片在真空处理系统的真空腔室竖直升降的可靠性，降低升降过程中偏斜的机率，精确控制晶片与喷头之间的间隙。

今年以来中微公司新获得专利授权11个，较去年同期减少了60.71%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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