证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体器件及其制作方法”,专利申请号为CN202311421839.8,授权日为2024年3月1日。
专利摘要:本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,属于半导体技术领域,所述半导体器件包括:衬底;栅介质层,设置在衬底上;栅极,设置在栅介质层上,栅极包括第一栅极结构和第二栅极结构,第二栅极结构设置在栅介质层上,第一栅极结构设置在第二栅极结构上,且第二栅极结构的宽度大于第一栅极结构的宽度;第一侧墙结构,设置在第一栅极结构的两侧,且位于第二栅极结构上;第二侧墙结构,设置在第一侧墙和第二栅极结构的侧壁上;漏极,设置在侧墙结构一侧的衬底内;源极,设置在侧墙结构另一侧的衬底内;轻掺杂区,只设置在栅极靠近源极一侧的衬底内。通过本发明提供的一种半导体器件及其制作方法,能够改善半导体器件的性能,并降低生产成本。
今年以来晶合集成新获得专利授权55个,较去年同期增加了111.54%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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