证券之星消息,根据企查查数据显示天合光能(688599)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种低压扩散炉”,专利申请号为CN202321576389.5,授权日为2024年1月9日。
专利摘要:本申请提供了一种低压扩散炉,包括:石英管,设有炉门;排气件,连接于所述石英管端部,并与所述石英管内部连通;进气管,与所述石英管内部连通,且所述进气管位于所述石英管内的端口位于远离所述排气件的一端;石英舟,设置于所述石英管内,用于承载硅片;多个喷气件,用于向所述石英管内通入气体,多个喷气件沿石英管延伸方向间隔布设。在上述技术方案中,通过设置的多个喷气件,在石英管中部区域向石英管内通入反应气体,对石英舟上各个部位处的硅片进行扩散的效果较为均匀,即硅片的方阻更加均匀,提升硅片质量。
今年以来天合光能新获得专利授权23个,较去年同期增加了35.29%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了8.18亿元,同比增30.98%。
数据来源:企查查
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