中微公司获得发明专利授权：“耐等离子体腐蚀零部件和反应装置及复合涂层形成方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“耐等离子体腐蚀零部件和反应装置及复合涂层形成方法”，专利申请号为CN202010548392.0，授权日为2023年12月29日。

专利摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种耐等离子体腐蚀零部件，零部件本体表面具有复合涂层，复合涂层包括磁性涂层和耐等离子体腐蚀涂层。本发明提供的零部件和反应装置，其表面具有磁性涂层和耐等离子体腐蚀涂层形成的复合涂层，通过磁性涂层的磁场作用改变等离子腔体内的电子、离子的运动方向，降低其对部件表面的法相轰击作用，避免耐等离子体腐蚀涂层产生微颗粒污染，并通过耐等离子体腐蚀涂层对部件进行防护，解决了目前涂层在先进制程中逐渐表现出失效的微颗粒污染问题。进一步地，还公开了一种制备具有该复合涂层的零部件的方法。

今年以来中微公司新获得专利授权152个，较去年同期增加了237.78%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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