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晶合集成获得实用新型专利授权:“一种法拉第杯和离子注入机”

来源:证券之星企业动态 2023-12-16 01:53:41
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证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种法拉第杯和离子注入机”,专利申请号为CN202321743699.1,授权日为2023年12月15日。

专利摘要:本实用新型提供了一种法拉第杯和离子注入机,包括壳体、第一石墨单元、第二石墨单元、电流测试装置和电流检测装置;壳体上设置有第一通孔,第一石墨单元和第二石墨单元安装在壳体的内部;第一石墨单元和第二石墨单元之间具有间隙,第一石墨单元和第二石墨单元沿离子的传输方向设置,第一石墨单元设置在第一通孔和第二石墨单元之间;电流测试装置与第一石墨单元连接;电流检测装置与第二石墨单元连接。电流检测装置如果检测到电流,则表示第一石墨单元已经被击穿,作业人员可以更换第一石墨单元;也可以等下次设备维护时或者根据经验预估第二石墨单元快要被击穿时再更换所有石墨,减少了停机时间和作业人员的工作量,增加了产能。

今年以来晶合集成新获得专利授权233个,较去年同期增加了83.46%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。

数据来源:企查查

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