中微公司获得发明专利授权：“进气组件及其等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“进气组件及其等离子体处理装置”，专利申请号为CN202010940995.5，授权日为2023年12月8日。

专利摘要：本发明公开了一种用于等离子体处理装置的进气组件，包括气体传输件以及可移动件；气体传输件内设有主干管道，其底部设有第一出气通道和包围第一出气通道的若干个第二出气通道，主干管道的内壁沿其高度设有若干个第一通孔，第一通孔与第二出气通道连通，主干管道与第一出气通道连通；可移动件设于主干管道内，可沿主干管道的内壁上下移动，且可移动件具有贯穿的第二通孔，第二通孔与外界的气体源连接。此发明解决了刻蚀气体出气分布不均匀，而导致刻蚀不均匀的问题，通过在进气组件内部设置调节装置，保证了气体源出气分布的均匀性，实现了等离子体刻蚀的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权146个，较去年同期增加了329.41%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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