中微公司获得发明专利授权：“基片处理系统及其维护方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“基片处理系统及其维护方法”，专利申请号为CN201911405388.2，授权日为2023年12月8日。

专利摘要：一种基片处理系统及其工作方法，其中，基片处理系统包括：传输腔，具有若干个第一基片传输口；若干个工艺腔，各个所述工艺腔具有第二基片传输口，所述第二基片传输口与第一基片传输口一一相对设置，各个所述工艺腔具有密封阀板，所述密封阀板用于密封第二基片传输口；共享阀板，用于密封所述第一基片传输口；传输轨道，用于传输所述共享阀板；驱动装置，用于使所述共享阀板密封第一基片传输口。所述基片处理系统既能够减少工艺腔与传输腔之间阀板的个数，又能够实现对工艺腔进行维护时不破坏传输腔内的真空环境。

今年以来中微公司新获得专利授权146个，较去年同期增加了329.41%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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