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正业科技(300410)答投资者问

请问公司的仪器设备是否有用于半导体衬底材料碳化硅（SiC）的检测？谢谢！

尊敬的投资者，您好，半导体衬底材料碳化硅（SiC）常用的亚表面缺陷检测技术包括光致发光（PL）和X射线形貌（XRT）、光学相干断层扫描（OCT）和拉曼光谱（Raman）等，我司当前未涉及相关产品。感谢您的关注。

来源：互动易     答复时间：2025/9/12 16:11:04

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