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英诺激光(301021)答投资者问

您好董秘！公司作为国内唯一供货荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）紫外激光器的上市公司，请问紫外激光器是光刻机的核心部件之一吗？

尊敬的投资者，您好！目前公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器，客户以国外知名半导体装备公司为主；亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的激光器，正在开发千瓦级薄片激光器。感谢您的关注！

来源：互动易     答复时间：2024/10/26 17:22:36

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