燕东微(688172)答投资者问
请问贵公司硅光芯片什么时间能完成样品批试制并正式投产?
尊敬的投资者您好,公司将硅光工艺平台做为公司重要研发项目,全面聚焦自主可控硅光芯片制造领域,突破厚SiN波导淀积、低应力、低损耗、复杂图形的光刻、刻蚀等关键工艺,打造兼容CMOS工艺的基于国产化装备的SiN硅光芯片量产平台。依托8英寸集成电路晶圆生产线,公司不断探索硅光技术的边界,成功推出了基于SiN硅光工艺平台的光开关与激光雷达产品,波导传输损耗<0.1dB/cm,并实现了量产。
来源:e互动 答复时间:2024/5/15 11:35:43
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