华海清科(688120)答投资者问
公司能否介绍下湿法设备和膜厚测量仪进入市场表现和产品规划情况？另外，关键耗材与维保服务近些年占营业收入比重变化情况？
尊敬的投资者您好，目前公司湿法设备包含清洗设备及供液系统，其中清洗设备已批量用于公司晶圆再生生产，2023年，首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业进行验证；应用于12英寸集成电路FEOL/BEOL晶圆正背面及边缘清洗的清洗机已完成装配；用于湿法工艺设备中研磨液、清洗液等化学品供应的SDS/CDS供液系统设备已获得批量采购。应用于Cu、Al、W、Co等金属制程的薄膜厚度测量设备已发往多家客户验证，实现小批量出货，部分机台已通过验收。具体产品介绍请详见公司披露的2023年年度报告。近年来，公司晶圆再生、关键耗材与维保等服务业务收入约占营业收入的比例在10%左右。公司晶圆再生产能已经达到10万片/月，在国内知名大厂均已完成前期导入工作，获得多家大生产线批量订单并长期稳定供货；随着公司CMP设备保有量的不断攀升，耗材零部件、抛光头维保服务等业务量也会相应提升，关键耗材维保及技术服务将成为公司新的利润增长点。感谢您对公司的关注！
来源：e互动 答复时间：2024/4/30 16:34:33
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