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茂莱光学(688502)答投资者问

公司的光刻机曝光物镜系统光学器件最小精度已经到30nm了吗

尊敬的投资者，您好！公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的核心模块。公司基于核心技术生产的大口径光刻机曝光物镜用光学器件突破常规透镜尺寸和精度的指标要求，面形精度可达到小于30nm。感谢您对公司的关注！

来源：e互动     答复时间：2024/9/25 17:06:27

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