大族激光在互动平台上表示，公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用，目前已接到少量订单。
天眼查数据显示，大族激光目前市值420亿元。
众所周知，高端芯片制造所需的光刻机一直以来被荷兰ASML公司垄断，一台精密光刻机售价上百亿，而我国半导体行业起步较晚，光刻机技术与ASML的差距非常大。
具体地，我国光刻机最高技术也就上海微电子所生产的90nm光刻机。除此之外，目前合肥芯硕半导体公司也具备量产200nm光刻机的实力，无锡影幻半导体公司也具备200nm光刻机量产的实力。而ASML则在7nm级别。
简单来看，这些数字差距可能看起来不大，但事实上，90nm跟28nm或者是7nm是千差万别的，光刻机每上一个台阶技术难度就会大大增加，可能从90nm升级到65nm并不难，但是从65nm升级到45nm，就是一个技术节点了，至于28nm、14nm和7nm，甚至未来有可能出现的3nm，那难度就更大了。
也正因为如此，我国的光刻机的研发进度一直都比较缓慢，而大族激光仅为μm级别，因此差距就更大了，毕竟1μm是1000nm。
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