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盛美上海：推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF

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媒体 2025-09-08 08:18:12

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（原标题：盛美上海：推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF）

人民财讯9月8日电，盛美上海(688082)今日宣布推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF，旨在支持半导体前端制造。该系统的问世标志着盛美上海光刻产品系列的重要扩充，具有高产能、先进温控技术以及实时工艺控制和监测功能。首台设备系统已于2025年9月交付中国头部逻辑晶圆厂客户。

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