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国林科技：公司现有半导体专用臭氧系统设备可以满足工艺应用

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2025-08-15 15:57:02

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（原标题：国林科技：公司现有半导体专用臭氧系统设备可以满足工艺应用）

同花顺（300033）金融研究中心08月15日讯，有投资者向国林科技（300786）提问，公司正在开发紫外-臭氧联用设备，可分解光刻胶显影后的有机残留物，清洗效率比传统工艺提升40%。以及正在研发EUV光刻胶生产用的高纯度臭氧气体纯化系统，金属杂质含量

公司回答表示，尊敬的投资者，您好。公司现有半导体专用臭氧系统设备可以满足工艺应用，具体产品研发情况请您以公司于指定信息披露媒体刊登的公告为准。感谢您的关注。

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