(原标题:国林科技:臭氧水可高效去除表面有机污染物和金属杂质)
同花顺(300033)金融研究中心08月15日讯,有投资者向国林科技(300786)提问, 公司的半导体臭氧设备能否对提升国产晶圆及芯片的良率提供帮助?具体提高良率的原理是什么?
公司回答表示,尊敬的投资者,您好。公司自主研发的半导体专用臭氧系统设备具备高浓度、高精度、高纯度及高稳定性的技术特点。在晶圆清洗环节,臭氧水可高效去除表面有机污染物和金属杂质,避免残留物导致的电路短路或性能缺陷,臭氧气体发生器在氧化工艺中形成均匀致密的氧化层,提升器件电性能,可以有效提升产品良率。感谢您的关注。
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