(原标题:国林科技:臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程)
同花顺(300033)金融研究中心04月14日讯,有投资者向国林科技(300786)提问, 贵公司是否在光刻机领域供货北方华创(002371)和中芯国际了?
公司回答表示,尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体目前主营业务产品包括:臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等,可应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域,目前占公司营业收入比重较小。公司目前已与部分清洗设备厂商、光伏、面板等头部企业建立了合作关系,产品验证工作正在有序进行。感谢您的关注。
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