晶盛机电：全自动单晶硅生长炉产品质量已达到国际先进水平_股票频道

（原标题：晶盛机电：全自动单晶硅生长炉产品质量已达到国际先进水平）

同花顺（300033）金融研究中心02月12日讯，有投资者向晶盛机电（300316）提问，董秘你好：目前8-12英寸半导体级单晶炉在国内晶圆厂（如沪硅、立昂微（605358）等）的装机份额占比是否超过50%？该类设备的国产化率（对比美国应用材料/日本Ferrotec同类产品）达到何种技术水平？公司在长晶炉热场设计（如温度梯度控制）和磁场抑制金属污染等关键技术上是否有专利布局？能否公开部分指标（如氧含量控制精度）？碳化硅长晶炉的良率（N型衬底）是否已稳定在行业平均水平（40%-50%）？

公司回答表示，尊敬的投资者，您好。公司全自动单晶硅生长炉产品质量已达到国际先进水平，在国产半导体大硅片设备市占率领先。公司半导体主要客户包括TCL中环（002129）、有研硅、上海新昇、奕斯伟、合晶科技等业内知名的上市公司或大型企业，助力大硅片设备国产化。同时，公司已布局单晶硅生长炉的热场及磁场相关专利，指标数据与客户工艺及热场情况密切相关，能够精准满足客户需求。此外，公司建设6-8英寸碳化硅衬底规模化产能并实现批量出货，量产碳化硅衬底核心参数指标达到行业一流水平。感谢您的关注。

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