(原标题:英诺激光:在半导体领域,大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术)
同花顺(300033)金融研究中心10月21日讯,有投资者向英诺激光(301021)提问, 领导您好,公司的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目与光刻机光源有关系吗,能不能运用到光刻机,谢谢。
公司回答表示,尊敬的投资者,您好!在半导体领域,大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术。感谢您的关注!
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