证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-030
中微半导体设备（上海）股份有限公司
关于 2022、2023、2024 年限制性股票激励计划
归属结果暨股份上市的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示：
? 本次股票上市类型为股权激励股份；股票认购方式为网下，上市股数为772,503
股。
本次股票上市流通总数为772,503股。
? 本次股票上市流通日期为2026 年 4 月 13 日。
根据中国证监会、上海证券交易所、中国证券登记结算有限责任公司上海分公
司有关业务规则的规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司于近日收到中国
证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《证券变更登记证明》，公司于 2026
年 4 月 7 日完成了 2022 年限制性股票激励计划第四个归属期、2023 年限制性股票
激励计划第二个归属期、2024 年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记工
作。现将有关情况公告如下：
一、 本次限制性股票归属的决策程序及相关信息披露
（一）2022 年限制性股票激励计划
（1）2022 年 3 月 9 日，公司召开第二届董事会第三次会议，会议审议通过了
《关于公司<2022 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司
<2022 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大
会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划
相关议案发表了独立意见。
同日，公司召开第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于公司<2022 年限
制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022 年限制性股票激
励计划实施考核管理办法>的议案》、《关于核实公司<2022 年限制性股票激励计划
激励对象名单>的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了
相关核查意见。
（2）2022 年 3 月 10 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》
（公告编号：2022-008），根据公司
其他独立董事的委托，独立董事 Chen,Shimin（陈世敏）先生作为征集人就 2022
年第二次临时股东大会审议的公司 2022 年限制性股票激励计划相关议案向公司全
体股东征集投票权。
（3）2022 年 3 月 9 日至 2022 年 3 月 18 日，公司对本激励计划拟激励对象的
姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计
划激励对象有关的任何异议。2022 年 3 月 19 日，公司于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2022 年限制性股票激励计划激励对
象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2022-010）。
（4）2022 年 3 月 25 日，公司召开 2022 年第二次临时股东大会，审议并通过
了《关于公司<2022 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公
司<2022 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》、《关于提请股东大会
授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。
（5）2022 年 3 月 26 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
《关于公司 2022 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查
报告》（公告编号：2022-012）。
（6）2022 年 3 月 29 日，公司召开第二届董事会第四次会议与第二届监事会
第三次会议，审议通过了《关于向激励对象授予限制性股票的议案》。公司独立董
事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（7）2023 年 3 月 31 日，公司召开第二届董事会第十二次会议和第二届监事
会第十次会议，审议通过了《关于作废处理 2022 年限制性股票激励计划部分限制
《关于公司 2022 年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条
性股票的议案》、
件的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核
实并发表了核查意见。
（8）2023 年 10 月 26 日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事
会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年及 2023 年限制性
股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
（9）2024 年 3 月 27 日，公司召开第二届董事会第二十一次会议和第二届监
事会第十八次会议，审议通过了《关于作废处理 2022 年限制性股票激励计划部分
《关于公司 2022 年限制性股票激励计划第二个归属期符合归
限制性股票的议案》、
属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（10）2024 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监
事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年、2023 年及
了核查意见。
（11）2025 年 4 月 17 日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会
第二次会议，审议通过了《关于作废处理 2022 年、2024 年限制性股票激励计划部
《关于 2022 年限制性股票激励计划第三个归属期、2024 年
分限制性股票的议案》、
限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行
核实并发表了核查意见。
（12）2026 年 3 月 30 日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关
于调整公司 2022 年、2023 年、2024 年及 2025 年限制性股票激励计划相关事项的
《关于作废处理 2022 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、
议案》、 《关
于 2022 年限制性股票激励计划第四个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬
与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（二）2023 年限制性股票激励计划
（1）2023 年 3 月 30 日，公司召开第二届董事会第十一次会议，会议审议通
过了《关于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》
《关于公
司<2023 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东
大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计
划相关议案发表了独立意见。
同日，公司召开第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于公司<2023 年限
制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》
《关于公司<2023 年限制性股票激励
计划实施考核管理办法>的议案》
《关于核实公司<2023 年限制性股票激励计划激励
对象名单>的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关
核查意见。
（2）2023 年 3 月 31 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披
露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》
（公告编号：2023-017），根据公
司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏先生作为征集人就 2022 年年度股东大会
审议的公司 2023 年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。
（3）2023 年 4 月 4 日至 2023 年 4 月 13 日，公司对本激励计划拟激励对象的
姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计
划激励对象有关的任何异议。2023 年 4 月 14 日，公司于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2023 年限制性股票激励计划激励对
象名单的公示情况说明及核查意见》。
（4）2023 年 4 月 20 日，公司召开 2022 年年度股东大会，审议并通过了《关
于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2023
年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事
会办理股权激励相关事宜的议案》
。
（5）2023 年 4 月 21 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披
露《关于公司 2023 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自
查报告》
。
（6）2023 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第十五次会议与第二届监事
会第十三次会议，审议通过了《关于调整公司 2023 年限制性股票激励计划相关事
《关于向 2023 年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的议案》。
项的议案》
公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了
核查意见。
（7）2023 年 10 月 26 日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事
会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年及 2023 年限制性
股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
（8）2024 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监
事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年及 2023 年限
制性股票激励计划相关事项的议案》《关于作废处理 2023 年限制性股票激励计划
部分限制性股票的议案》《关于公司 2023 年限制性股票激励计划第一个归属期符
合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（9）2025 年 5 月 28 日，公司召开第三届董事会第四次会议和第三届监事会
第四次会议，审议通过了《关于作废处理 2023 年限制性股票激励计划部分限制性
股票的议案》《关于公司 2023 年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件
的议案》
。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（三）2024 年限制性股票激励计划
（1）2024 年 3 月 27 日，公司召开第二届董事会第二十一次会议，会议审议
通过了《关于公司<2024 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》
《关于
公司<2024 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股
东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。
同日，公司召开第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于公司<2024 年
限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》
《关于公司<2024 年限制性股票激
励计划实施考核管理办法>的议案》
《关于核实公司<2024 年限制性股票激励计划激
励对象名单>的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出
具了相关核查意见。
（2）2024 年 3 月 28 日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》
（公告编号：2024-023）。根据公司
其他独立董事的委托，独立董事陈世敏博士作为征集人就 2023 年年度股东大会审
议的股权激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。
（3）2024 年 3 月 28 日至 2024 年 4 月 10 日，公司对本激励计划拟激励对象
的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司监事会未收到任何员
工对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2024 年 4 月 11 日，公司于上
海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2024 年限制性股
票激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。
（4）2024 年 4 月 17 日，公司召开 2023 年年度股东大会，审议并通过了《关
于公司<2024 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2024
年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事
会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。
（5）2024 年 4 月 18 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于公司 2024 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自
查报告》
。
（6）2024 年 4 月 26 日，公司召开第二届董事会第二十三次会议与第二届监
事会第二十次会议，审议通过了《关于调整公司 2024 年限制性股票激励计划相关
事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。监事会对前述事项
进行核实并发表了核查意见。
（7）2024 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监
事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年、2023 年及
了核查意见。
（8）2025 年 4 月 17 日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会
第二次会议，审议通过了《关于作废处理 2022 年、2024 年限制性股票激励计划部
《关于 2022 年限制性股票激励计划第三个归属期、2024 年
分限制性股票的议案》、
限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行
核实并发表了核查意见。
二、 本次限制性股票归属的基本情况
（一）归属数量：772,503 股。
（二）归属人数：852 人。
（三）股票来源：公司向激励对象定向发行公司 A 股普通股股票。
（四）本次归属的股份情况：
本次归属数量
已获授予的
本次归属数 占已获授予的
姓名 国籍 职务 限制性股票
量（万股） 限制性股票总
数量（万股）
量的比例
一、董事、高级管理人员
董事长、总经理、核心
尹志尧 中国 10.112 2.528 25%
技术人员
董事、副总经理、核心
丛海 新加坡 1.4323 0.3583 25%
技术人员
董事、副总经理、核心
陶珩 中国 1.9798 0.4951 25%
技术人员
陈伟文 中国香港 副总经理、财务负责人 3.94 0.985 25%
姜银鑫 中国 副总经理 1.9808 0.4952 25%
二、核心技术人员
姜勇 中国 核心技术人员 1.5255 0.3816 25%
陈煌琳 中国台湾 核心技术人员 1.5322 0.3832 25%
刘志强 新加坡 核心技术人员 1.5457 0.3865 25%
何伟业 中国 核心技术人员 1.1702 0.2927 25%
张凯 中国 核心技术人员 1.4789 0.3698 25%
小计 26.6974 6.6754 25%
三、其他激励对象
董事会认为需要激励的其他人员（842 人） 278.9291 69.7624 25%
合计（ 852 人） 305.6265 76.4378 25%
本次归属数量
已获授予的
本次归属数 占已获授予的
姓名 国籍 职务 限制性股票
量（万股） 限制性股票总
数量（万股）
量的比例
一、董事、高级管理人员
/ / / / / /
二、核心技术人员
/ / / / / /
小计 / / /
三、其他激励对象
董事会认为需要激励的其他人员（2 人） 2.5989 0.6497 25%
合计（ 2 人） 2.5989 0.6497 25%
本次归属数量
已获授予的
本次归属数 占已获授予的
姓名 国籍 职务 限制性股票
量（万股） 限制性股票总
数量（万股）
量的比例
一、董事、高级管理人员
/ / / / / /
二、核心技术人员
/ / / / / /
三、其他激励对象
董事会认为需要激励的其他人员（1 人） 0.6513 0.1628 25%
合计（ 1 人） 0.6513 0.1628 25%
三、 本次限制性股票归属股票的上市流通安排及股本变动情况
（一）本次归属股票的上市流通日：2026 年 4 月 13 日
（二）本次归属股票的上市流通数量：772,503 股
（三）董事和高级管理人员本次归属股票的限售和转让限制
法》《上市公司董事和高级管理人员所持本公司股份及其变动管理规则》《关于短
线交易监管的若干规定》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》的规定
执行。
范性文件和《公司章程》中对公司董事和高级管理人员持有股份转让的有关规定
发生了变化，则这部分激励对象转让其所持有的公司股票应当在转让时符合修改
后的《公司法》
《证券法》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》的规定。
（四）本次股本变动情况
单位：股
变动前 本次变动 变动后
股本总数 626,145,307 772,503 626,917,810
由 于 本 次 限 制 性 股 票 归 属 后 ， 公 司 股 本 总 数 由 626,145,307 股 增 加 至
四、 验资及股份登记情况
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于 2026 年 3 月 31 日出具了《中微半导
（大华验字[2026]0011000053 号）对公司 2022
体设备(上海)股份有限公司验资报告》
年限制性股票激励计划第四个归属期、2023 年限制性股票激励计划第二个归属期、
了审验。
经审验，截至 2026 年 3 月 25 日止，公司已收到 852 名限制性股票激励对象
认购 2022 年限制性股票 764,378 股，每股 49.20 元，实际收到限制性股票激励对
象缴纳的认购款人民币 37,640,644.13 元，限制性股票激励对象以货币资金出资。
经审验，截至 2026 年 3 月 25 日止，公司已收到 2 名限制性股票激励对象认
购 2023 年限制性股票 6,497 股，每股 49.20 元，实际收到限制性股票激励对象缴
纳的认购款人民币 319,652.40 元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。
经审验，截至 2026 年 3 月 25 日止，公司已收到 1 名限制性股票激励对象认
购 2024 年限制性股票 1,628 股，每股 75.50 元，实际收到限制性股票激励对象缴
纳的认购款人民币 122,914.00 元，限制性股票激励对象以货币资金出资。
根据中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《证券变更登记证明》，
公司已于 2026 年 4 月 7 日完成 2022 年限制性股票激励计划第四个归属期、2023
年限制性股票激励计划第二个归属期、2024 年限制性股票激励计划第一个归属期
的股份登记手续。
五、 本次归属后新增股份对最近一期财务报告的影响
根据公司 2025 年年度报告，公司 2025 年实现归属于上市公司股东的净利润
属后总股本 626,917,810 股为基数计算，在归属于上市公司股东的净利润不变的情
况下，公司 2025 年基本每股收益将相应摊薄。
本次归属的限制性股票数量为 772,503 股，约占归属前公司总股本的比例为
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
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