研究表明，公司氨水发生器产生的氨水功能水在先进半导体BEOL铜钴互联金属湿法清洗中发挥关键作用，可有效抑制传统湿法清洗中对cu/co的腐蚀。第一种方案是NHOH功能水漂洗。通过加入适量氨水调节漂洗液pH，使钴金属处于相对有利的电化学条件，从而减少钴在漂洗过程中的溶解。第二种方案是NHOH/HO复合功能水漂洗。公司的氨水发生器的技术参数能否适配铜钴互联领域的要求？

答国林科技：2026-10-26 16:13:01

尊敬的投资者，您好。氨水发生器可应用于晶圆颗粒清洗、氧化层调控制成，适配芯片、先进封装、功率半导体各类湿法产线。下游不同工艺节点、铜钴互联场景对各项参数要求差异较大，具体适配性需结合客户工艺指标开展验证评估。相关业务进展请以公司公告为准，感谢您的关注。