冯董你好：公司一项名为“光催化无氯合成四（二甲氨基）锡的方法”的专利，授权公告号CN122608655B，授权日为2026年9月22日。申请公布号为CN122608655A，申请号为CN202611116047.3； 光催化无氯合成四（二甲氨基）锡的方法主要用到“紫外光协同烷基锂引发的无氯取代反应 + 后续纯化核心工艺”上，是不是可以理解公司已经在研发DUV或EUV产品？

答南大光电：2026-10-24 09:47:13

感谢您的关注！公司现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶的研发和产业化，未开展EUV光刻胶的研发。