公司作为国产半导体臭氧设备的领军公司，臭氧水杀菌系统好像是公司独有研发的设备，其他几家友商都没有此设备，请问臭氧水杀菌系统的主要应用场景及工艺阶段是哪些？

答国林科技：2026-09-11 12:10:10

尊敬的投资者，您好。臭氧水杀菌系统专为电子行业杀菌、清洗应用而开发设计，系统采用半导体级臭氧气体发生器以及纳米气泡混合技术，对工艺水进行杀菌处理，可有效去除Wet湿制程机台内所有细菌，延长PM洗管周期，提高产能降低费用以及保障良率。公司研发及产品技术信息请查阅公司官方网站或公司定期报告进行了解。感谢您的关注。